#175「半導体を作るロボットも進化している!」

真空にヒントあり

過ごしやすい季節になってきました。ドライブに行くのもいいし、美術館でアートの鑑賞も素敵だし、パソコンでちょっと気になっていた調べ物をするなんていうのもいいですね。でも、そんなふうに考えていると、いまの世の中、何をするにも半導体の存在が欠かせない、ということに気がつきます。車にもパソコンにも半導体は欠かせません。芸術作品だって、現代アートには最近流行の3Dプリンタや液晶モニタなどを多用することが多いので、半導体は不可欠です。この傾向はこれからますます加速するのかもしれませんね。

ということは、これまで以上に半導体には活躍してもらわなければなりません。しかも、さらに迅速に、さらにコストを抑えて製造しないと海外製品にも勝てなくなってしまいますから。そんな中、ある会社が生み出したのが新しい真空ロボットです。

真空のなかで半導体の基板となるウエハをセットしたり、そこに設置するトランジスタやダイオードを作り込む段取りをするロボットが、人呼んで真空ロボットなのです。この真空ロボットは、真空と高温という環境下で機能することや装置内に塵を出さないという難しい条件をクリアして動かなければなりません。これまでにあった既存の真空ロボットはそれが充分ではなかったのです。

近年使用されている真空ロボットは、真空も高温も、発塵も条件を満たしたロボットになったのです。時には350℃以上にもなる半導体製造の環境下でも使用できる真空ロボットの誕生は、これからの半導体製造に大きな役割を果しています。

もともと、半導体は清浄な高真空下で膜形成や加工を行ってきました。そんな高真空・高温下で活躍できるロボットが誕生したことで、より確かな半導体製造が可能になったわけです。社会に貢献する真空のことなんか思い浮かべながら、秋の夜長を過ごすっていうのもなかなか味のある過ごし方ですね。

175「半導体を作るロボットも進化している!」
タイトルとURLをコピーしました